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高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou)，为了达到工艺对气体的要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。6瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全，无漏气、滑丝、表针松动等危险情况，各类气压表一般不得混用。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择-级的316l ep管，经电解拋光(electro-polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大-低。当气体的流量已知时，管径的大小取决于允许的流速或允许的摩擦阻力(压力降)。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

工业气体在使用上需要注意哪些事项

在使用一氧i化碳气体检测仪的时候要注意事项：

1、检查气体流量、通常为30/h，流量过大或者过小对分析仪结果影响较大

2、更换滤纸：停抽气泵，过滤罐排水

3、检查气路系统中有无漏气现象。抽泣泵膜片有无破损，取样探头密封圈是否破i裂，四通阀、冷凝汽是否损坏等

4、取样探头清洗，取样孔管路疏通

5、检查冷凝器工作是否正常，通常温度调整在3摄氏度范围内

6、检查测量器室看是否脏污，及时清洗。

1、气瓶安全附件完好齐全包括橡皮圈、安全帽、压力表、阻火器、减压阀、易熔塞 ， 胶皮软管必须完好无老化破损情况，与气瓶接口处应用卡子固定，以防滑脱。 2、氧气、乙i炔不能混合存放二者应隔开或隔离放置，隔开距离 2 米以上 ，使用时距离 5 米以上，气瓶不可放置在距明火、高温部位较近的地方距离 15 米以上 ，放置场所应阴 凉通风，并有防倾倒措施。 3、工业气瓶在搬运过程中，严禁在地上滚动，应用手旋转平移。装车时，气瓶应该方向一 致，捆扎牢固。运输必须用危化车辆。氧气、乙i炔严禁混装运输。 4、在上部有动火和高温天气使用气瓶时，应用不燃物体遮盖，高温天气不能在阳光下长时 间曝晒，气瓶使用完毕后，须拆下减压阀、胶皮软管等设施，并戴上安全帽，然后按第 2 条要求放置。 5、乙i炔气瓶在使用时严禁平放在地上。 6、氧气瓶在储存使用过程中严禁接触油脂。 7、切割、焊接作业前，应清理周围易i燃物，以防引燃。2、所有的管路、阀门，压力表都由高的不锈钢构成，并且都是标准配件。 8、动火作业现场应设专人监护，并配置相应的消防灭火设施，如灭火器、水等。 9、存放或存放过易i燃易i爆危险品的容器、管线设备不能直接进行动火作业，应进行相 应处理或采用其他安全措施，确认安全后再进行动火作业。 10、在具有一定危险性的场所动火作业，用火单位应使用“用火-” ，在落实安全措施 后经负责人审批再进行施工。

气体产品种类繁多，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高。特种气体产销量虽小，但根据不同的用途，对不同特种气体的纯度或组成、有害杂质允许的含量、产品的包装贮运等都有极其严格的要求，属于高技术，高附加值产品。这些关系到你所要测验的物质的报告精度，如果你要测验的物质报告要求只是个大概的就可以，那么建议用国内的报告精度，否则，必须选择国外的品牌，因为国内的品牌对这一方面还处于刚开发起步阶段。

高纯气体(high purity gases)，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，ar，-而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；实验室气体管道安装【实验室气体管路要求】1、所有气体管路都由高的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。