济南净化车间公司信息「科宏净化」

洁净室二次配gashook-up净化车间公司

hook up 乃是藉由连接以传输utilities使机台达到预期的功能。hook  up是将厂务提供的 utilities ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之utilities连接点( port/stick),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设(subunits)。

机台使用这些 utilities,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。hookup 项目主要包括∶cad，move in ，core drill，seismic ，vacuum，gas， chemical  d.i ，pcw，cw，exhaust，electric，drain.

在半导体厂，所谓气体管路的hook-up配管衔接以bukgas一般性气体如cda、gn2、pn2、po2、phe、par、h2等而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线mainpiping至次主管线sub-mainpiping之takeoff点称为一次配sp1hook-up，自takeoff出口点至机台tool或设备equipment的入口点，谓之二次配sp2hook-up。

以spe---ltygas特殊性气体如：腐蚀性、毒性、性、加热气体等之气体而言其供气源为气柜gascabinet。自g/c出口点至vmbvalve mainfold box.多功能阀箱或vmpvalve mainfold panel多功能阀盘之一次测primary入口点，称为一次配sp1hook-up，由vmb或vmp stick之二次侧secondary出口点至机台入口点谓之二次配sp2hook-up。