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流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器mass flow controller缩写为mfc用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，cvd，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。，我们认为如果用户要将流量控制在期望的设定值，那么其稳定容许范围也必须落在设备精度范围内。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
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对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的如g/min,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法以密度乘以若干slm即可实现。由于变送器是以单片机为-的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于流量。
流量计 / 流量控制器的优点
流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于流量计 / 流量控制器，则一般可以忽略不计。
准确地定量控制流量
流量控制器可以准确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等-有用。
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