德国业纳检测设备代理-「北京一测」
接触式表面粗糙度轮廓仪的工作原理触针式表面粗糙度轮廓仪由传感器、 驱动箱、指示表、 记录器和工作台等主要部件组成。电感传感器是轮廓仪的主要部件之一,传感器测杆一端装有触针 由于金刚石耐磨、 硬度高的特点, 触针多选用金刚石材质, 触针的要求曲率半径很小,以便于的反映表面情况。 测量时将触针搭在加工件的被测表面上, 并使针尖与被测面保持垂直接触, 利用驱动装置以缓慢、 均匀的速度拖动传感器。 由于被测表面是一个有峰谷起伏的轮廓, 所以当触针在被测表面拖动滑行时, 将随着被测面的峰谷起伏而产生上下移动。 此运动过程又运用杠杆原理经过支点传递给磁芯, 使它同步地在电感线圈中作反向上下运动, 并将运动幅度放大, 从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化, 并将触针微小的垂直位移转换为同步成比例的电信号。
传感器的线圈与测量线路直接接入由后续装备成的平衡电桥, 线圈电感量的变化使电桥失去了平衡, 于是就激发输出一个和触针上下位移量大小比的电量, 此时的这一电量比较微弱, 不易被察觉, 需要用电子装置将这一微弱电量的变化放大, 再经相敏检波后, 获得能表示触针位移量大小和方向的信号。 信号又可分为三路: 一路加载在指示表上, 以表示触针的位置; 一路输送至直流功率放大器, 放大后推动记录器进行记录; 一路经滤波和平均表放大器放大之后, 进入积分计算器, 进行积分计算, 由指示表直接读出表面粗糙度参数值。
光切法光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法,它将一束平行光带以一定角度投射与被测表面上,光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状,解决了工件表面微小峰谷-的测量问题,避免了与被测表面的接触。由于它采用了光切原理,所以可测表面的轮廓峰谷的大和小高度,要受物镜的景深和鉴别率的-。峰谷高度超出一定的范围,就不能在目镜视场中成清晰的真实图像而导致无法测量或者测量误差很大但由于该方法成本低、易于操作,所以还在被广泛应用,如上海光学仪器厂生产的9j(bq)光切法显微镜。
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