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通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件,其中一个作为温度检测,另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度,加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加,冷却效应越大,使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体流量,即供给电流与气体流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。怕液体和油污进入mfc,会造成失控,如果mfc的出口接有液体罐,需要在mfc出口加上单向阀,防止液体回流。
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流量控制器,即massflowcontroller(mfc),不但具有流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,mfc自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。流量控制器mass flow controller缩写为mfc用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,cvd,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。流量控制器容易受这几个方面的影响流量控制器是一种测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿,可根据需要进行流量设定,自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
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1、公用工程---电﹑气﹑ 水处理的监控
流量控制器应用于管道的气体;通用系统;沼气;煤气;液化气;锅炉预热空气。
2、石油工业
能量交换;填井气回收; 燃气计量;气体分析;泄漏气测试;火炬气的监控。
3、电力行业
流量控制器应用于燃料系统中气体分配过程中的气体测量;锅炉及辅助系统中各种气体的测量;燃气炉中气体测量;氢气测量;电厂高炉的一次风、二次风的测量。
4、化学行业
烟气循环监测;采样系统中气体流量计量;引风机的气体流量计量;化肥厂氨气测量;电池工厂各种气体流量测量。
5、冶金行业
流量控制器应用于钢铁厂加气测量;炼铁厂高炉煤气的测量;焦化厂焦炉煤气的测量;轧钢厂加热炉燃气高炉煤气、焦化煤气等的测量控制;热处理淬火炉等的氢、氧、氮等气体的控制。
6、纸浆与造纸行业
废水处理系统中气体的测量;烟道流量监控;锅炉回收二次/三次空气;锅炉的燃气和空气送风测量。
7、食品行业
流量控制器应用于加工操作中新鲜空气的加入;
8、
流量控制器应用于沼气利用过程中的气体测量;污水处理过程中曝气池的气体测量;烟筒烟道排气监测so2和nox的排量。
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