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新北五金真空镀膜设备在线咨询「拉奇纳米」

发布者:东莞拉奇纳米科技有限公司  时间:2022-8-30 






高真空电子束蒸发镀膜机是在高真空条件下,采用电子束轰击材料加热蒸发的方法,在衬底上镀制各种金属、氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等;可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜;可镀各种高熔点材料。

可根据用户使用要求,选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式, 通过plc 和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制, 包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等,从而提高了工作效率和---产品的一致性和稳定性。




       真空镀膜机对环境要求有哪些?

      真空镀膜机对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。

      这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。

      如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。众所周,油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体,当大量抽除可凝性气体时,对泵油的污染会---,结果使泵的---真空下降,破坏了泵的抽气性能。

      工业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区分的。粉状体是粉末或固体颗粒的集合或分散状态的物质。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合,而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。

      烟雾体是以固体或液体的微小颗粒呈浮状态存在于气体中的物质体系。物质无论是固体还是液体,凡是呈颗粒状态均可统称为尘粒。以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准,从而定制出洁净室的等级。不仅适合于有洁净要求的工业部门,也适合于真空对洁净环境的要求。




镀膜机常见故障及处理方法:

一、检测不到掩膜夹具翻转信号:

1、检查翻面信号源位置

2、将翻面输入信号人工短接,使用翻面检测功能,计算机能检测到信号时,证明问题在翻面控制开关上,根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路,然后更换控制卡。

二、掩膜夹具翻转不稳定:

1、检查翻板的初始位置是否符合---

2、检测翻面控制开关工作是否稳定,可用指针万用表---监测。

3、检查翻转机构动作是否灵活---

4、检查翻面信号次数设置

5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有摩擦现象

6、检测旋转工作台在转动时的稳定性





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