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表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌常用的参数,它反映的是机械零件表面的微观几何形状误差,随着机械加工行业的发展表面粗糙度测量技术也得到长足进步,---是70年代中后期,随着微电子计算机应用的逐步普及和现代光学技术、激光应用技术的发展,使粗糙度测量技术在机械加工、光学加工、电子加工等精密加工行业中的---显得---重要。表面粗糙度的测量方法基本上可分为接触式测量和非接触式测量两类:在接触式测量中主要有比较法、印模法、触针法等;非接触测量方式中常用的有光切法、散斑法的像散测定法、光外差法、afm 、飞光学传感器法等。
光切法光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法,它将一束平行光带以一定角度投射与被测表面上,光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状,解决了工件表面微小峰谷---的测量问题,避免了与被测表面的接触。由于它采用了光切原理,所以可测表面的轮廓峰谷的大和小高度,要受物镜的景深和鉴别率的---。峰谷高度超出一定的范围,就不能在目镜视场中成清晰的真实图像而导致无法测量或者测量误差很大但由于该方法成本低、易于操作,所以还在被广泛应用,如上海光学仪器厂生产的9j(bq)光切法显微镜。
激光散粗糙和轮廓测量仪器班图一般反映了被激光照射表面的微观结构情况,但要从中直接得出表面参数的信息是非常困难的,---在用单色光照明粗糙表面时,由于非常粗糙表面所形成的散斑并不完全由粗糙度决定,因此用散斑测量表面粗糙度时,只在一定的范围内合适在某些情况下,由于表面过于光滑而无法用电子散斑干涉仪进行测量,而有时也有可能由于表面过于粗糙而无法测量,故此时可用银灰色的喷漆作为辅助手段,其形状差条纹的灵敏度可---10μm。
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