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消费者应用这种---质谱检漏仪能够从---上---这种产品拥有---的应用价值,在我国更多的产品漏率检查之中原先---的技术支持,因此---质谱检漏仪的优势更---了我国产品漏问题检查的。检漏仪全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。---质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10 -11 pam3 / s 数量级,仪器响应快,
---质谱检漏仪为气体工业名词术语,用---气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用---气(he)作为示漏气体,但也有用氢气(h)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是---气。---气检漏仪特有的清---系统,---地清除超标的---本底,---检测的稳定性和准确性;实时监测---气压力和浓度,---了工件检测的精度;
1.喷吹法检漏的原理 喷吹法检漏是利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,然后在被检产品外表面喷吹---气,当被检产品表面有漏孔时,---气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入---质谱检漏仪,检漏仪会报警并显示当前漏率值。 2喷吹法检漏的优点 1.检测灵敏度高; 2.定位准确; 3.对大容器或复杂结构产品的检漏---性高。
检漏仪对示漏气体的要求:在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。---质谱检漏仪主要技术指标:1. 小可检漏率:5×10-12pa·m3/s。2. 漏率显围:1×10-3—1×10-12pa·m3/s---气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格---气进行提纯,---降低---气损耗功能可选。
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