北京场发射扫描电镜分辨率了解更多「多图」

扫描电镜的工作原理在高压作用下

扫描电镜的工作原理 在高压作用下，由于热阴极发射出的电子经阴极、栅极、阳极之间的电场---、加速，在栅极与阳极之间形成一个具有---能量的电子束斑，称之为电子源。这个电子束斑再经聚光镜压缩，会聚成极细的电子束并---在样品表面上，这个高能量细---的电子束在扫描线圈的作用下，在样品表面上进行扫描，与样品相互作用，激发出各种物理信号。各种物理信号的强度与样品的表面特征相关，可以用相应的探测器分别对其检测、放大、成像，用于各种微观分析。扫描电子显微镜主要收集的信号是二次电子和倍射电子。

背散射电子是由样品“反射”出来的

背散射电子是由样品“反射”出来的入射电子，其主要特点是：

(1)能量高，从50ev到接近入射电子的能量。

(2)穿透能力比二次电子强得多，可从样品中较深的区域逸出(微米级)，在这样的---范围，入射电子已有相当宽的侧向扩展，因此在样品中产生的范围大，图像分辨率较低；

(3)背散射电子产额随原子序数增大而明显增加，即样品平均原子序数z大的部位产生较强的背散射电子信号，在荧光屏上形成较亮的区域；而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子，在荧光屏上形成较暗的区域，这样就形成原子序数衬度成分衬度。

与二次电子像相比，背散射像的分辨率要低，主要应用于样品表面不同成分分布情况的观察，比如有机无机混合物、合金等。

能量色散x射线光谱仪(energydispersivex

能量色散x射线光谱仪energydispersive x-ray spectroscopy，edx

能谱分析是当今材料领域研究人员广泛采用的技术。如图3，利用sem，各种信号可以提供给定样品的不同信息。当sem与edx探测器结合使用时，x射线也可以用作产生化学信息的信号。

edx借助于试样发出的元素特征x射线波长和强度进行分析，根据波长测定试样所含元素，根据强度测定元素相对含量。

根据探针在待测样品表面扫描方式不同，可分为点、线、面分析三种方式：

<1>点分析

将分析范围定位到样品中感兴趣的点上，进行定性或定量分析，常用于显微结构的成分分析，如材料的晶界，析出相，夹杂相等。

<2>线分析

电子束沿着特定的方向进行线扫描，能获得元素含量变化的线分布曲线。如果和样品的形貌像相对照分析，可直观分析元素在不同相或区域内的分布和变化趋势。

<3>面分析

利用电子束对样品表面的特定区域进行扫描，元素在试样表面的分布能在crt上以亮度分布显示定性分析。