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4探头超声波扫描显微镜分析系统,
emmi可广泛应用于侦测各种组件缺陷所产生的漏电流,包括闸极氧化层缺陷(gate oxide defects)、静电放电破坏(esd failure)、闩锁效应(l---h up)、漏电(leakage)、接面漏电(junction leakage) 、顺向偏压(forward bias)及在饱和区域操作的晶体管,可藉由emmi定位,找---(hot spot 或找亮点)位置,进而得知缺陷原因,帮助后续进一步的失效分析。
emmi微光显微镜
微光显微镜emission microscope, emmi是常用漏电流路径分析手段。对于故障分析而言,微光显微镜emission microscope, emmi是一种相当有用且效率---的分析工具。主要侦测ic内部所放出光子。在ic元件中,ehpelectron hole pairsrecombination会放出光子photon。如在p-n结加偏压,此时n阱的电子很容易扩散到p阱,而p的空穴也容易扩散至n,然后与p端的空穴或n端的电子做ehp recombination。在故障点定位、寻找近红外波段发光点等方面,微光显微镜可分析p-n接面漏电;p-n接面崩溃;饱和区晶体管的热电子;氧化层漏电生的光子激发;l---h up、gate oxide defect、junction leakage、hot carriers effect、esd等问题.
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