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流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器mass flow controller缩写为mfc用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，cvd，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。流量控制器即使在-的工作环境下也能表现出优异的性能提高流量测量系统的-性用于安全联锁报警的流量仪表如果不-，应该联锁动作时不动作，容易酿成事故，不该动作时乱动作，容易导致不应有的停车，造成损失。
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一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用流量计；一定要避免超过使用流量控制器范围的情况发生，这会引起仪表测量度的下降，-时会导致仪表损坏。需要对流量进行控制时，用流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用流量计; 当定流测压时, 需要用流量控制器。注意, 当流量控制器处于清洗状态时, 也可以当流量计使用, 只不过气压降要比普通流量计大一些。
数字化流量控制器的发展情况如何? 有些什么特点?
数字化流量控制器起源于上世纪八十年代末期, 现在在国外, 有逐步普及的趋势。在国内, 2004年中法合资的七星弗洛尔公司已有afc系列数字化mfc/mfm批量投产。
数字化流量控制器有两种类型, 一种是数字模拟兼容产品, 一种是全数字化产品。数字模拟兼容类产品采用与模拟流量计一样的±15v电源, 输入输出信号除了有模拟的+5vdc信号外, 还具有rs232/rs485串行通讯口。数字模拟兼容的mfc当设置为模拟式时, 可以直接替换模拟式mfc, 无需做其它更改。全数字化类型产品通常采用24vdc单电源, 没有模拟输入输出信号, 只有现场总线通讯信号。通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
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