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-质谱检漏仪helium mass spectrometerleakdetector为气体工业名词术语,用-气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测-气而进行检漏的质谱仪。-气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,-系惰性气体,不腐蚀设备,故常用-作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪调整到仅对-气反应的工作状态的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。在示值误差测量中,每一标准漏孔用-质谱检漏仪重复测量三次,可用公式(2)计算-质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
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今天科仪的小编和大家分享的是-质谱检漏仪的工作原理,希望对您有所帮助!
-质谱检漏仪是一种以-气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。然后取出被检产品,将表面的残余-气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内,被检产品内部密封腔内的-气会通过漏孔泄漏到真空容器,再进入-质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率测量。仪器对其示漏气体-气有响应信号,而对其他气体没有响应,从而检漏。
1便携式:zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
2高压强下检漏:检漏口压强可-数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
3自动化程度高:自动校准-峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。-质谱检漏仪由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
4全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
5检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测-气,而且能检测其它气体。
-质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。检漏仪在使用过程中,往往会因为产生的一些故障或是现象,而影响检漏工作的正常进度,若对其-还会危及检漏仪的使用寿命。用-气作为-质谱检漏气体的原因选择示漏气体(示踪气体的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的,掌握和了解-质谱检漏仪常见故障的维修技术,有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。
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