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真空设备检漏

一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况-，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。但是，以-气作为示漏气体，也有一些不足之处，例如橡胶、塑料等有机材料常常会吸收-气，在吸收后慢慢地释放出来。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。

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-气

-气穿透能力强，且易，对漏点有-的检出能力，可让细微小洞无处可逃。-气检漏就是采用-气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为-原子的尺寸很小。用-气穿过小洞而进入到管壳内部，-气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法-，但要比性检漏方法简便。-气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满-气的容器中，并加压，让-气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留-气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的-气。所有的-气检漏仪器机构的离子收集板，对-气都会产生记忆效应，即-离子打到离子收集板上，并储存一定时间，然后再慢慢释放出来，从而造成本底的噪音等问题。