TV550AGILENT分子泵硬件升级-潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司——tv550agilent分子泵硬件升级

扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试长时间暴露于加速损坏的条件下，对泵的---性进行验证。该测试可---泵---运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试，证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度，相当于从82 厘米/32 英寸高跌落处于非运行状态的泵和从 15 厘米/6 英寸高跌落处于运行状态的泵。在泵处于垂直、水平和倒立状态时，各进行 6 次冲击测试。所测试的泵在 24 次跌落后无任何问题不发生转子机械接触，泵运行状态不变。在每次跌落后验证泵的不平衡性，结果表明变化，远低于阈值。

“---” no.2  afs 安捷伦悬浮轴承技术

一般的涡轮分子泵的设计，泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的，一旦泵体有振动或冲击，这些振动就会传递到轴承，并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动，对振动---敏感，传递到轴承的振动会影响轴承的寿命，传递到转子的振动会造成转子发生位移，甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触，---的冲击力会立即造成转子叶片的破碎，整泵也随之报废。

安捷伦 afs 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动，---佳的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，程度减少系统停机时间，---长时间工作的稳定性。

滑阀式真空泵市场

　　---各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的---性。

广州潽拓光电科技有限公司——tv550agilent分子泵硬件升级维修问题

分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

　　答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境

分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

　　答：注意水温和水流量，冷却---会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是佳方式？

　　答：电源本身有接地线，只需要---市网有---接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“poff”？

　　答：原因：电压低

安捷伦分子泵标准保养服务安捷伦维修中心提供各型号安捷伦分子泵的标准保养服务，主要项目包括：对整泵进行拆解和清洗、更换密封和轴承套件、动平衡调试和泄漏检测等。安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间5年以上，或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以---延长其使用寿命。

油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。脂润滑分子泵：油脂量小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境

干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

分子泵：安捷伦twistorr涡轮分子泵采用---的afs悬浮轴承技术，工作时振动非常低，被广泛地应用在各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界，从2015年起，在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵，泵的---性非常接近100%，实测的振动水平低于0.01米/秒2，噪声等级更是只有40db(a)。

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mt 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右安捷伦分子泵的允许温度为 120 度。另外，kit 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低 5mt 时，低大约40度。

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