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分子泵是---质谱检漏仪中获得高真空重要部,是---质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着---质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对---质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50pa,远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压---已达2000pa。这种泵用作---质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500pa,v1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200pa以下，则v2关闭，v3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40pa以下，则v3关闭，v4打开，---气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为twistorr304fscff6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。

使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的pt100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mt，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mt，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mt。

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mt时，平衡温度上升到100摄氏度左右分子泵的很大允许温度为120度。

另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低5mt时，低大约40度。

近日，真空推出了一款新型涡轮分子泵，便是对此交出的一份答卷。这款分子泵的寿命更长，而且采用了该公司开发的一项技术，使得真空设备---，振动水平---，噪音更小。真空的涡轮分子泵.具体来讲，通过分配几何确定的动平衡孔和渐近的动平衡配重法，利用激光烧蚀把多余的材料去除，如此一来，转子的不均匀分布能够在所有点位逐个进行的处理，来达到很佳的动平衡性。

与传统动平衡相比，用激光去除材料要准确得多，剩余不平衡会---。而且在这个过程中，材料特性并不会受到影响。可以说，改变了传统的动平衡过程，将不均匀的分布降到了很低。采用传统动平衡左和采用激光烧蚀段的激光动平衡右动平衡等级对比.据了解，通过现代化的自动平衡系统，涡轮分子泵转子的动平衡品质提高了20%，从而大幅提高转子寿命，并降低泵在运行期间的振动和噪音水平。

值得一提的是，激光烧蚀产生的颗粒，在加工过程中即可抽出和过滤掉，随后对激光平衡后的转子进行清洁，由于无需手动拧紧螺丝，所以---了表面的---清洁度，并且也避免了平衡孔中的气穴造成的虚漏现象。因此，用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求，尤其是在需要---振动和静音的应用中，该系列涡轮分子泵可以---提升用户体验。

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