气体管道公司-「珂锐弘扬」

气体管道安装

联接方法

管子、管子联接件、阀门和设备上的进出接管间的联接方法，由气体的性质、压力和温度以及管子的材质、尺寸和安装场所等因素决定，主要有螺纹联接、法兰联接、承插联接和焊接等四种方法。

螺纹联接

主要适用于小直径管道。联接时，一般要在螺纹联接部分-氟塑料密封带，或涂上厚漆、绕上麻丝等密封材料，以防止泄漏。阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。在1.6兆帕以上压力时，一般在管子端面加垫片密封。这种联接方法简单，可以拆卸重装，但须在管道的适当地方安装活接头，以便于拆装。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。5空瓶与实瓶分区放置，气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。目前-规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管ss304ba、ss316ba、不锈钢电抛光管ss316l-ep等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间-真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

实验室气体管道工程系统 

目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。

实验室集中供气系统的特点：安全性、洁净度、稳定性、经济性、操作便捷性和美观性。

实验室集中供气系统主要由气源、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易i燃易i爆气体，如氢气、乙i炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入阻火器防止火苗串入。

集中供气操作原理：实验室供气有二级减压和多级减压。

二级减压即气瓶端采用一级减压阀和末端采用一级减压阀来达到二级减压的目的。实验室一般采用二级减压，这样可以-气体的纯度和节约成本，也能达到多级减压的效果()。

多级减压即气瓶端采用二级减压阀或多级减压阀和末端采用二级减压阀或多级减压阀来达到多级减压的目的。减压效果同二级减压效果差不多，但成本会更高。

实验室集中供气包括：气体泄漏报警与低压报警。

气体泄漏报警：对于易i燃、易i爆、有毒、腐蚀性气体，在气瓶间与使用点处安装泄漏侦测探头，如果气瓶房气体发生泄漏的话，感应探头会即刻将信号传至中心实验室的液晶显示瓶上，并发出预警的声音，这样用户就可以发即时维修。

低压报警：当用户在实验室工作时，需要知道气体是否快要用尽，气瓶压力是否足够，这对实验室实现不间断气体供应是很重要的。