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什么是电离真空计的外控接法？有何好处？

答：如规管的栅极作为电子加速极，而板极作为离子收集极，此种接法即为外控接法。其好处是电子在加速中不易被栅丝截获，并受灯丝和板极的电位排斥，可以在灯丝与板极的空间，反复穿过栅极来回振荡，如此，可-提高测量的灵敏度。

影响热阴极电离真空计测量下限的原因是什么？如何改进？

答：电子打到收集极上产生软x射线辐射，离子收集极吸收了软x射线会产生光电子发射，由此形成的电子电流正好与离子电流方向一致，故叠加在一起，但此电流与压力无关，当压力降低到形成的离子电流明显小于光电流时，收集极的离子流便不再随压力变化，即到达测量下限。增大离子流，减小光电流可以使测量下限的拓展。

真空检漏的意义？答：真空系统的-真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的-真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。

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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。10～10-1pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2pa时调定加热电流(此时热电势为10mv，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150ma。102～10pa量程：规管须垂直倒置，在0.1mpa时调定加热电流，其加热电流可调节范围为175～300ma或以上。

热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些，但p-e校准曲线受外界温度的影响较小。 mems传感器具有小型化、低成本、、易与cmos集成电路兼容等特点。在不同类型的mems传感器中， 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比，电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。

mems电容薄膜真空计作为mems电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。mems电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。mems电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。

电路主要由开关电容电荷放大器和一阶σ-δ调制器组成，利用0.25umcmos技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5v，功耗约为6mw。电路的灵敏度可以达到2.5v/pf，分辨率可达到4af。为满足不同应用的需求，pérezsanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umcmos技术制造，供电电压为1.8v，能耗约为10mw。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mv/ff，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mv/ff。awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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