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湿制程清洗台来电咨询「多图」

发布者:苏州晶淼半导体设备有限公司  时间:2022-9-7 






另外,对承压缸体的自增强处理工艺很关键,我们一般是以两倍工作压力使其内壁产生压缩预应力,产生径向扩大的残余变形。这样,在工作承压后,应力分布比较均匀,全部应力维持在弹性范围内,弹性承载能力增大,提高缸体疲劳寿命,设计原则是选择材料和工艺给出适合自增强压力和zui佳自增强度

清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为:超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等;


微电子技术一般常使用的材料为硅晶体,该材料由于其自身的特性在一定程度上阻碍了微电子技术的进步。现今,研究人员开始逐渐借助氧化物半导体材料和超导体材料替代常用的硅晶体材料,此外,使用碳纳米管做成的晶体管更是为微电子技术的---提供了新的思路。学者经过实验研究得出:新纳米管电路中总输出信号是大于输入信号,该结论的得出也表明该纳米管电路是具有一定的放大功能。




超声波槽内的超纯水通常由纯水供应系统直接配给,其温度小于清洗槽内的温度,由于接触中的传热导致槽内清洗液在循环加热的过程中的温度控制更困难,从而是出发低温报警的风险增加,对生产的效率与产品硅片的均有影响。因此需要对超声波槽的温度进行控制设计,使其可以满足清洗槽内的温度稳定行控制要求。

化学清洗槽也叫酸槽/化学槽,主要有hf,,h2so4,h2o2,hcl等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,后还有di清洗。ipa是,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。




edc 系统具有可编程阀,它可以使单试剂滴胶按照蚀刻,开发和清洗应用的要求重复进行,如冲洗通常是去离子水或溶剂,然后干燥通常是氮气等后面的处理步骤。蚀刻/显影/清洗全套系统采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在完全干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和独立的给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。





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