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     edwards epx180l 半导体干式真空泵 epx180l维修

爱德华epx 180真空干泵

       edwards epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获zhuanli的---单轴再生 holweck 分级机构，能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5kg。

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edwards爱德华ext200/200h gcms质谱仪用设备泵维修二手分子泵




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广州潽拓从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，主要维修leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian)，shimadzu,edwards,osaka等---品牌分子泵，欢迎来电咨询。

潽拓光电全新edwards爱德华eld500---质谱检漏仪

edwards爱德华eld500---质谱检漏仪：

产品特点：

*  灵活的远程控制选项：触摸屏控制，具有本地图形显示和可闻泄漏检测。无线模块可同时控制多达10台检漏仪。

*  可移动的解决方案：重量轻，检漏仪可直接安装在台式桌面或小车上。

*  高灵敏度：可在真空模式下低可测量5x10-12 mbar ls-1的---气泄漏；可在吸模式下低可测量7x10-9 mbar ls-1的---气泄漏。

*  多种版本可供选择

- wet型，集成油封旋片泵

- dry型，集成---气优化隔膜泵

- flex型，不带前级泵。

*  分流套件：能够有效抽空大容量腔体，与 wet 型和 flex 型兼容。

*  准确定位泄漏点：标准吸线可使eld500的操作长度达到4 m。长达50 m的吸线可与吸扩展器接口一同使用。

*  长期使用稳定性：优先的180度磁偏转质谱仪和---的离子源，可---仪器长期稳定运行。

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