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天津不导电样品电镜测试来电洽谈「九鼎」

发布者:九鼎(天津)新材料科技有限公司  时间:2022-9-7 








在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态

在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态,但是作为一个的扫描电镜应用人员来说,应从多方面入手,综合考虑,如选好电镜的安装环境,尽自己的职责维护好设备和制备好试样,这都是操作人员应该做到的事。电镜参数的合理选择和熟练操作,是操作人员经过努力学习、不断积累经验而应能实现的目标。至于扫描电镜的型号和某些参数的优劣,这超出操作人员的能力范围,只要操作人员能发挥出现有电镜大的潜能,一般都能得到比较好的成像效果。当然,如果能有一台高亮度、高分辨的扫描电镜,那将会更理想。


半导体器件(ic)研究中的特殊应用

在半导体器件(ic)研究中的特殊应用:

  1)利用电子束感生电流ebic进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

  2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

  3)利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,---是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

  4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。


扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能

扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能,---感兴趣的区域,在数秒内既可以得到样品微观形貌信息,---切换至能谱软件界面可快速得到该区域的表面元素分布信息。扫描电镜能谱软件可以使用户实现多点分析,灵活检测样品的元素组分。同时,该软件还支持元素分析线扫、面扫功能。优化精简的操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

扫描电镜是用---电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。


若灯丝的加热电流偏小,未达到临界饱和点

若灯丝的加热电流偏小,未达到临界饱和点,则会使灯丝的温度偏低,发射束流偏小且不稳定,结果会导致亮度不足、图像的信噪比变差;若灯丝的加热电流刚好处在临界饱和点,则发射的束流既稳定,亮度又高,图像的信噪比又比较好;若加热的电流超过临界饱和点,则只会增加灯丝的温度,而发射束流不会有明显增加,但会明显缩短灯丝的寿命,这种情况下的阴极激发电极寿命可能只有30~40小时,寿命短的甚至不到20小时。



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