金华无尘室设备定位安装方案承诺守信 卓宇泰搬迁
无尘室(clean room),亦称为无尘室或清净室。-性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的危险性。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予---设计之房间。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。小扒头:清扫面积相对较小时,小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。⑴洁净隧道clean tunnel:以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。
发尘量无尘室内的发尘量,来自设备的可考虑通过局部排风排除,不流入室内;产品,材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比,一般量小,可忽略;由于金属半壁彩钢夹心板的应用来自建筑表面的发尘也很少,一般占10%以下,发尘主要来自人,占90%左右。在人的发尘量上,由于服装材料和样式的改进,发尘量也不断减少。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走。a、材质:棉质发尘量大,以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。b、样式:大挂式发尘量大,---装型次之,全罩型少;c、活动:动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍;d、清洗:用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。室内维护结构表面发尘量,以地面为准,大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。
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