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高分辨力扫描电子显微镜的工作经验

在目前微观形貌的分析研究中，随着半导体器件等-的发展，往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解，因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片，不仅要有一台性能-的高分辨力扫描电子显微镜，而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验，即要考虑以下几种因素：

1入射电子束的束流密度要足够大，而且稳定***电子源的发射问题。

2入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称圆，涉及电子透镜的设计、加工和装配水平，以及镜筒受污染的影响程度等***探针的形成问题。

二次电子像的阴影效应不明显

这些不同细节的部位发出的二次电子数各不相同，从而产生亮暗不一的衬度。由于二次电子的能量小，用 e-t探测器检测时，仅需在其前面的栅网上加几百伏的正电位，常施加的电位为+250~+300v，即通过该电位就可把试样上发射出来的大部分二次电子吸引过来，所以二次电子像的阴影效应不明显。在二次电子探测器所对应的立体角内也能接收到相应的一小部分背散射电子，所以在二次电子像中也包含了一小部分背散射电子的信息，如图b中对应的背散射电子成分像的一些衬度信息也能在图a中反映出来，只不过图a中所显现的原子序数的衬度没有像图b中那么明显而已。

二次电子的能量低,受局部电场的影响变化大

二次电子的能量低，受局部电场的影响变化大，如图a所示的颗粒在电子束的照射下因充了负电子而发白，在这发白的颗粒周围感应了正电荷，而感应了正电荷的区域导致二次电子的发射量减小，使颗粒周围明显变暗。由于二次电子像分辨力高、阴影效应不明显、景深深、立体感强，所以它是扫描电镜中主要的成像方式。它-适用于观察和分析起伏较大的粗糙面，如金属、陶瓷和塑料等材料的断口，所以在材料学科中扫描电镜得到了广泛应用。

桌面型扫描电镜的使用特点

桌面型扫描电镜的扫描速度快，信号采集带宽10m，可以在视频模式-畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，不需对中光阑等复杂步骤，-消像散后可直接拍图。

桌面型扫描电镜的几个使用特点：

　　1、体型小巧，无需准备独立实验室；

　　2、结构设计简洁，人性化设计，易于维护及保养；

　　3、高真空(10-3pa)及15kv宽加速电压(1kv步进)，可满足不同样品的测试需求；

　　4、不断优化的软件功能，让不同经验的使用人员都能轻松上手操作。