充气柜真空箱测漏系统来电咨询 科仪-真空有限公司

-质谱检漏仪的应用拓展三

1电子行业

微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、-起博器。

2真空行业，仪器、仪表行业

管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加1速器、加1速器、辐照加1速器、镀膜机、薄膜真空计。

3核工业

-分离装置、存储装置、核发电装置。

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-质谱检漏仪的检漏方式有那些

-质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的-气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。-质谱检漏仪的检漏方式有那些-质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

-质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，-质谱检漏仪可达1000pa一般常规检漏仪为0.05pa以下，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝-等优点。

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-质谱检漏用-气的选择

-气是一种无色、无味的隋性气体。众所周知，当一个带电质点正离子以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆，如图1所示。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液-气化为标准状态下的-气体积为700l。

-规定的瓶装-气按纯度高低分别为工业用-、纯-、高纯-三种。

1、工业用-：-含量***99%，露1点≤43℃.

2、纯-分三级：优等品-含量***99.995%；一等品-含量***99.993%；合格品-含量***99.99%。

3、高纯-分为三级：优等品-含量***99.9996%；一等品-含量***99.9993%；合格品-含量***99.999%。

-气在-质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用-，即-含量***99%，露1点≤43℃。

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-质谱检漏仪的校准方法

-质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过-质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

-质谱检漏仪原理:

-质谱检漏仪是一种以-气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不

-质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

-质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过-质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下-漏率的校准方法。

科仪拥有-的技术，我们都以为本，信誉高，我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对-检漏感兴趣，欢迎-左右两侧的在线，或拨打咨询电话。