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真空技术应用广泛,从现有的光学传感器、光刻机、低温恒温器、电子显微镜和xps光谱仪,到基于冷原子的便携式传感器、mems真空检测仪器、真空电子束智能增材制造系统等新兴领域。增材制造可大幅减少设备尺寸、重量和开发时间,从而加速基础研究和技术开发。通过激光粉床打印机制造一个利用磁光阱mot捕获冷原子的小型真空腔体,由铝合金alsi10mg制造。该系统经历120小时的120℃烘烤后,达到了低于1×10-10mbar的压力范围。装置对获的原子云进行荧光图像,包含多达2×108个---原子。增材制造的腔体的真空度优于5.0×10-9mbar,与常见的磁光阱真空腔体性能一致,见图1。这表明了增材工艺与真空腔体制造的适用性。为实现真空,要对腔体进行150~250℃的高温烘烤,以促使资料外表和内部的气体尽快放出。
电解抛光
电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分,使表面光滑。与化学抛光相比,可以消除阴极反应的影响,效果较好。电化学抛光过程分为两步:1宏观整平 溶解产物向电解液中扩散,材料表面几何粗糙下降,ra>;1μm。2微光平整 阳极极化,表面光亮度提高,ra<1μm 。9%的增长,并且明年市场规模有望扩大至173亿美元,增长46。
维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去,原因可能有几个,一定要搞清楚是什么原因,是真空机组的抽气能力不够还是漏率高;或者两者兼而有之。这时,应该耐心观察和记录,从中找出故障。比如,抽空时间相同,而真空度偏低,这时候,关闭高压阀,如真空计指针很快下降,多数情况是真空室漏了,这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢,多数情况是真空机组抽气能力不够,这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上,看是哪里出现了泄漏,或是扩散泵油被污染了,氧化了等;在油泵的效果下,使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下,油雾与上升的气流相互效果吸附,混在气流中的尘土与油一同沉降至油池。或是前级管路密封不好,泵油不足;或是泵有油乳化,轴封漏油,阀片损坏等故障。
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