天津场发射扫描电镜服务 迈基尔

扫描电镜是一种多功能的仪器、具有很多---的性能、是用途为广

扫描电镜是一种多功能的仪器、具有很多---的性能、是用途为广泛的一种仪器．它可以进行如下基本分析：

1、观察纳米材料：其具有---的分辨率，可以观察组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-100nm范围内，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。

2、材料断口的分析：其景深大，图象富立体感，具有三维形态，能够从断口形貌呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

3、直接观察大试样的原始表面：它能够直接观察直径100mm，高50mm，或尺寸的试样，对试样的形状没有任何---，粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度背散射电子象。

价钱便宜使用普遍的是钨灯丝

价钱便宜使用普遍的是钨灯丝，以热游离 (thermionization) 式来发射电子，电子能量散布为 2 ev，钨的功函数约为4.5ev，钨灯丝系一直径约100μm，弯曲成v形的细线，操作温度约2700k，电流密度为1.75a/cm2，在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小，使用寿命约为40~80小时。

六硼化---(lab6)灯丝的功函数为2.4ev，较钨丝为低，因此同样的电流密度，使用lab6只要在1500k即可达到，而且亮度更高，因此使用寿命便比钨丝高出许多，电子能量散布为 1 ev，比钨丝要好。但因lab6在加热时活性很强，所以必须在较好的真空环境下操作，因此仪器的购置费用较高。

热场发式电子是在1800k温度下操作,避免了针尖flash

热场发式电子是在1800k温度下操作，避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面，所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度，并能在较差的真空度下(10-9 torr)操作。虽然亮度与冷式相类似，但其电子能量散布却比冷式大3~5倍，影像分辨率较差，通常较不常使用。

萧基发射式的操作温度为1800k，它系在钨(100)单晶上镀zro覆盖层，zro将功函数从纯钨的4.5ev降至2.8ev，而外加高电场更使电位障壁变窄变低，使得电子很容易以热能的方式跳过能障(并非穿隧效应)，逃出针尖表面，所需真空度约10-8~10-9torr。其发射电流稳定度佳，而且发射的总电流也大。而其电子能量散布很小，仅稍逊于冷场发射式电子。其电子源直径比冷式大，所以影像分辨率也比冷场发射式稍差一点。

二次电子(secondaryelectr)

二次电子(secondary electr)：电子束和样品作用，可将传导能带(conduction band)的电子击出，此即为二次电子，其能量约 < 50ev。由于是低能量电子，所以只有在距离样品表面约50~500?---范围内所产生之二次电子，才有机会逃离样品表面而被侦测到。由于二次电子产生的数量，会受到样品表面起伏状况影响，所以二次电子影像可以观察出样品表面之形貌特征。 ：入射电子和样品进行非弹性碰撞可产生连续x和特征x，前者系入射电子减速所放出的连续光谱，形成背景决定少分析之量，后者系特定能阶间之能量差，可藉以分析成分元素。

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