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操作笨重灵活，真空辅助开关控制通断的转轮不与触头机械接触，因此，操作笨重灵活。接点数目增加与操作力无关，不会有卡死的现象发作。选用真空辅助开关应留意的问题，真空辅助开关的开断性能要顺应回路的参数，真空辅助开关的开断及闭合电流决议于真空舌簧管的特性。目前国内几个厂家均宣称是采用进口舌簧管，所发布的技术参数有所不同。

真空度，图一显示了间隙击穿电压和气体压强之间的关系。由图可以看到真空度高于10-2pa10-4托时，击穿电压基本上不再随着气体压力的下降而增大，因为气体分子碰撞游离现象已不再起作用。当气体压力从l0-2pa逐步升高时(真空度下降)，击穿强度逐渐下降，而在接近1托(102pa左右)低，以后又随气压的而。从曲线上可以看出真空度高于10-2pa时其耐压强度基本上保持不变。这就表明，真空灭弧室的真空度在10-2pa以上时完---够满足正常的使用需求。

一个新的真空间隙进行试验时，几次的击穿电压往往较低。随着试验次数的增加击穿电压也逐渐增大，会稳定在某一数值上。这种击穿电压随击穿次数增大的现象就是电压老炼的作用。电压老炼就是通过放电消除电极表面的微观凸起、杂质和缺陷。经过小电流的放电使表面的微观凸起点烧熔、蒸发，使电极表面光滑平整，局部电场的增应减小，提高了击穿电压。

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转3000r/min。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，