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分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又---了膜层。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

水环泵也有其缺点：效率低，一般在30%左右，较好的可达50%。真空度低，这不仅是因为受到结构上的---，更重要的是受工作液饱和蒸气压的---。用水作工作液，---压强只能达到2000~4000pa。用油作工作液，可达130pa。总之，由于水环泵中气体压缩是等温的，故可以抽除、的气体。由于没有排气阀及摩擦表面，故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些---的特点，尽管它效率低，仍然得到了广泛的应用。

电机温度高某公司的300mw机组，每台机组配备2台机械真空泵，其中1台运行，1台备用。真空泵用于机组启动时抽真空，正常运行时用于抽出凝汽器中未凝结的气体。该泵配备电机160kw，转速590r/min，额定电流330a，电压380v，b级绝缘，正常运行时电流220～230a。每年夏季，电机温度都会超限，加装临时冷却风机，但收效不大。电机长期高温运行会造成绝缘老化，缩短其使用寿命。