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经过几十年的发展,尤其近十多年的研究与发展,mems技术已经显示出了---的生命力,此项技术的有效采用将信息系统的微型化、智能化、多功能化和---性水平提高到了一个新的高度。
在当前技术水平下,微切削加工技术已经可以生产出来具有不同层次的3d微型结构,从而可以生产出体积非常微小的微型传感器敏感元件,象毒气传感器、离子传感器、光电探测器这样的以硅为主要构成材料的传感/探测器都装有---的敏感元件
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若使用场所不容许加热升温,则可采用帕耳帖效应peltier effect当有电流通过不同的导体组成的回路时,除产生不可逆的焦耳热外,在不同导体的接头处随着电流方向的不同会分别出现吸热、放热现象。这是j.c.a.珀耳帖在1834年发现的。
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