气体管道安装
联接方法
管子、管子联接件、阀门和设备上的进出接管间的联接方法,由气体的性质、压力和温度以及管子的材质、尺寸和安装场所等因素决定,主要有螺纹联接、法兰联接、承插联接和焊接等四种方法。
螺纹联接
主要适用于小直径管道。联接时,一般要在螺纹联接部分---氟塑料密封带,或涂上厚漆、绕上麻丝等密封材料,以防止泄漏。在1.6兆帕以上压力时,一般在管子端面加垫片密封。联接时根据气体的性质、压力和温度选用不同的法兰和密封垫片,利用螺栓夹紧垫片保持密封。这种联接方法简单,可以拆卸重装,但须在管道的适当地方安装活接头,以便于拆装。
实验室气路改造管道材质及作用
高纯度气体管一般根据循环介质的工艺要求由薄壁不锈钢管制成。
主要有铬、镍和钼合金元素。
a、铬的存在提高了不锈钢在氧化介质中的耐腐蚀性,形成富铬氧化膜;
b、钼的存在提高了不锈钢在非氧化介质中的耐腐蚀性
c、镍是奥氏体的形成元素,镍的存在不仅提高了钢的耐蚀性,而且---了钢的工艺性能。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管ss304ba、ss316ba、不锈钢电抛光管ss316l-ep等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用ss316l-ep管。8气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备,与明火距离不少于10m,氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时,不能放在一起。
注:管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的ss316l-ep管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。
对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间---真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道,需要用保温材料包覆在管道外面,防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
实验室供气系统设计要点
1通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器,在气瓶出口装有单向阀,可避免更换气瓶时有空气和水分混入,另外在一端安装泄压开关球阀,将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道,---仪器用气的纯度。
2集中供气系统采用二级减压---压力的稳定,采用二级减压的方式,一是,经过第i一级减压后,干路压力比气瓶压力---降低,起到了缓冲管道压力的作用,提高了用气的安全,降低了应用的风险,二是---仪器供气入口压力的稳定,降低了因为气体压力波动而引起的测量误差,---了仪器使用的稳定性。实验室是一个特殊的工作区域,从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑,形成系统的供气迫在眉睫,实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现,气瓶供气已逐步淘汰。
3由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体,如甲i烷,乙i炔,氢气,做这易i燃气体的管路时,应注意管路尽量短,减少中间接头的连接,同时,气瓶一定装入防爆气瓶柜内,气瓶输出端接回火器,可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸,防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口,且有泄漏报警装置,一旦泄漏能及---警并将气体排到室外。这些关系到你所要测验的物质的报告精度,如果你要测验的物质报告要求只是个大概的就可以,那么建议用国内的报告精度,否则,必须选择国外的品牌,因为国内的品牌对这一方面还处于刚开发起步阶段。
联系时请说明是在云商网上看到的此信息,谢谢!
本页网址:https://www.ynshangji.com/xw/27990321.html