江苏真空箱式-检漏设备价格来电垂询「科创真空」
1、高压氮气强度检测真空箱内进行,保护操作者安全
2、真空箱内-气本底抑零,-了检漏的准确性、。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序,可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件,并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、技术的密封接头,减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,-了系统的操作安全及-运行。
7、plc控制,使系统运行清晰明了,实现了实时监测及控制。
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水检和-检两种检漏方法的分析
目前,水检和-检两种检漏方法国内汽车空调两器检漏主要的方法,下面将分析两种检漏方法的优缺点。
1.1 传统水泡法检测分析
水泡检漏法,属于检测精度要求不高的粗检漏,就是将被检工件充入一定压力的干燥压缩空气或者是氮气,然后放入水中,观察是否有气泡从被检工件中跑出来,如果有,则说明漏,而且-什么位置泄漏,一般只确定被检件是漏还是不漏,而不需定量。但并不是说气泡检漏就不能定量。在某些情况下,气泡检漏也可以定量。检出气泡的漏率与气泡直径、气泡形成速率、充气的种类有关。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收,以免延期因保管出现的产品问题。
因此,对于空调两器检漏来说,采用水检方法,灵敏度较低。受人为因素影响,漏判误判率会明显增加。另外,工件水检后,外表面有水,需烘干处理,耗电多,耗费劳动力也多。但水检法也有优点,就是操作简单直观,而且能够查找漏点位置。
1.2 -质谱检漏方法分析
-质谱检漏是以-作探索气体,对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。
-质谱检漏法有优点在于:-是惰性气体,对-无污染,使用安全;-原子小,黏度小,易渗透过可能存在的漏隙。-气在-中含量小5ppm,不易受干扰。-质谱检漏仪检测灵敏度高,速度快,适用范围广。
目前国内生产-质谱检漏仪较小可检漏率可达到5.0×10-13 pa·m3/s。目前,-比较流行的针对空调两器检漏方法,多采用真空箱法。
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1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行-质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过-质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易-,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和-环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
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