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西门子法是由德国siemens公司发明并于1954年申请了1965年左右实现了工业化。经过几十年的应用和展,西门子法不断完善,先后出现了代、第二代和第三代,第三代多晶硅生产工艺即改良西门子法,它在第二代的基础上增加了还原尾气干法回收系统、sicl4回收氢化工艺,实现了完全闭环生产,是西门子法生产高纯多晶硅技术的新技术,其具体工艺流程如图1所示。高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料,在未来的50年里,还不可能有其他材料能够替代硅材料而成为电子和光伏产业主要原材料。硅在西门子法多晶硅生产流程内部的循环利用。
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氧气:助燃物、可燃物燃烧的基本要素之一,能氧化大多数活性物质。与物如、等形成有性的混合物。3氯:有-性气味,能与许多化学品发生或生成性物质。到2010年,中国电子级多晶硅年需求量将达到约2000吨,光伏级多晶硅年需求量将达到约4200吨。几乎对金属和非金属都起腐蚀作用。属高毒类。是一种-的-性气体。
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-:具有强氧化性。与物如-和有机物如糖、纤维素等接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。与碱金属能发生剧烈反应。具有强腐蚀性。9氮气:若遇高热,容器内压增大。电网公司为分布式电源并网提供客户服务中心、网上营业厅等多种咨询渠道,向项目业主提供并-理流程说明、相关政策规定解释、并网工作进度查询等服务,接受项目业主-。有开裂和的危险。10:腐蚀性极强。若遇高热,容器内压增大,有开裂危险。11-:该品不燃,具强腐蚀性、强-性,可致人体灼伤。
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