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一般真空腔体内部是规则的长方体,用一面加热进行热辐射的方式热传导不能合理涵盖整个腔体的内部空间,所以效果不是很理想,.经过试验论证,采取在真空腔体内正上方、正下方、左侧面、右侧面各安装一套加热板加热的方法,采用面对面热辐射方式对腔体内部进行加热.
由于设备在真空状态下采用了上,下,左,右四面四路加热的方法,比单纯一路加热就要复杂多了,这也是温度控制的难点.因此采用pid来进行温度控制调节,控温热偶设置在腔体内部,这样可以-地控制真空腔体内的温度.
真空系统中有运动传递的地方会采用动密封，这些动密封结构，很有可能在静态的时候密封-而运动的时候产生泄漏；比如采用橡胶轴封做动密封阀杆与阀体之间的阀门，就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高，不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态，这种动态泄漏很难被发现。此外，击穿电压还和阴极资料的物理常数如熔点、比热和密度等正相关，即熔点较高的资料其击穿电压也较高。
对于非常关键的工艺，选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率；如果选用的还是轴封做密封的阀门，在检漏时
焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免-中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接，通常采用弧焊来完成焊接。弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体气，以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。真空腔体的弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。在油泵的效果下，使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下，油雾与上升的气流相互效果吸附，混在气流中的尘土与油一同沉降至油池。
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