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-气检漏仪是-质谱检漏仪((helium mass spectrometer leak detector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。重复性测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。质谱仪通过其-部件质谱室，使不同的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收1器接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。
用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。
专门设计的以-气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为-质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外，还具有适应范围广、定位定量准确、-、安全、反应速度快等优点。-质谱检漏仪中用得较多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。
众所周知，当一个带电质点正离子以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆，如图1所示。-质谱检漏仪的基本原理与结构-质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比m/e的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的-离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有-离子才能通过狭缝而被接收极接收形成-离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，如果用-气喷吹漏孔，-气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。
-质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
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-质谱检漏法是利用-质谱检漏仪的-分压力测量原理，实现被检件的-泄漏量测量。今天科仪-的小编就和大家分享一下-质谱检漏仪的主要配置有哪些，希望对您有所帮助。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体-气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入-质谱检漏仪后，由于-质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的-气分压力信号值。在获得-气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对-泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将-质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种-质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法-质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用-罩或喷吹的方法在被检产品外表面施-气，当被检产品表面有漏孔时，-气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入-质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。-质谱检漏常见问题-质谱检漏仪是现在比较常用的检测仪器，那么在使用过程中我们又遇到哪些问题呢。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空-罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹-气，可以实现漏孔的准确定位; 真空-罩法采用有一定密闭功能的-罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的-气，可以实现被检产品总漏率的测量。
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