高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，---而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、---可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的-。
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。
常见高纯气体的用途
环氧---可用作生产增塑剂、润滑剂等；
氯---是重要的---化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；
氯---可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部麻l醉剂；
二---可作喷气推进剂、制冷剂、麻l醉剂；---用于合成染料、医l药、农l药；
乙炔可直接用于金属切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等
高纯乙炔法煤化工新工艺采用蓄热式电l石生产新工艺，将煤炭中挥发分与固定碳进行分质梯级利用。其中，煤炭中的挥发分通过催化热解产生人造天然气、人造石油、合成气；煤炭中的固定碳在高温下还原生石灰，生成电l石和一氧化碳，电l石再与水反应生成乙炔。这些产品可同时发挥碳一化工、乙炔化工和石油天然气化工各自的优势，形成3种化工工艺的有机结合。
该技术由公司自主研发，工艺l大特点是以廉价中低阶粉煤、粉状石灰作原料，可替代-煤炭、兰炭、焦炭、块状石灰等原料，能够-能源生产与消费体系，为推动绿色低碳发展提供重要科技支撑。
三---氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种-。三---氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，特种气体，高纯三---氮具有优异的蚀刻速率和选择性对氧化硅和硅，它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常-的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
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