---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，sf6真空箱测漏设备，---质谱检漏仪可达1000pa一般常规检漏仪为0.05pa以下，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝-等优点。
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1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;
2.一般为三箱联动系统，生产节拍可满足单台6ppm—12ppm；
3.开门方式，可根据用户生产工艺要求来设计，一般为平开门式、滑台合箱式；
4.上下料采用机械手或机器人，正常生产时设备无需人工操作；
5.系统配置-扫描装置，可将每个电芯的检测数据对应存储；
6.具有清---功能
7.具有---气回收功能此功能可选
8.自动判断，六---硫空箱测漏设备，并对应放置即不合格品放于不合格线，合格品放于合格线
9.可通过触摸屏设置不同等级密码，更改设备参数；
10.人机交互界面，触摸屏实时反映运行状态和测试数据；
11.故障统计功能
12.系统采用配置和标准化设计制作，-运行稳定，性能-。
今天和大家分享的是---气检漏的性能指标，想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询！
检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，sf6充气柜真空箱测漏设备，在漏点处喷射---气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。
检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上---气在真空系统中的传递时间，即为两次喷---的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，测漏设备，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，两次喷---的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷---后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷---。
清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对---的吸附和脱附作用的影响，清除时间一般要更长些。笔者-，在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。
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