光刻胶稳定性
化学稳定性:在正常储存和操作条件下,nr9 3000p光刻胶厂家,在密闭容器中室温稳定。
避免的条件: 火源、湿气、过热的环境。
不相容的其他材料: -。
光刻胶毒理资料
淡黄色液体,nr9 3000p光刻胶,气味微弱。引起皮肤、眼睛、粘膜和呼吸道的---。可以通过皮肤吸收而引起全身性的---。液体是可燃的。
毒性数据
皮肤:可以通过皮肤吸收而引起全身性的---,nr9 3000p光刻胶公司,类似于吸入。长时间或重复接触可引起轻度至中度的---或皮炎。
眼睛:引起眼睛发炎。
吸入:吸入时可能有害。引起呼吸道---。蒸气可能导致困倦和---。
摄食:吞食有害。
---效应:肝和损害,以及动物实验中有------和gu髓有影响。
二、预烘和底胶涂覆pre-bake&primer vapor
由于光刻胶中含有溶剂,所以对于涂好光刻胶的硅片需要在80度左右的。硅片脱水烘焙能去除圆片表面的潮气、增强光刻胶与表面的黏附性、通常大约100 °c。这是与底胶涂覆合并进行的。
底胶涂覆增强光刻胶(pr)和圆片表面的黏附性。广泛使用: (hmds)、在pr旋转涂覆前hmds蒸气涂覆、pr涂覆前用冷却板冷却圆片。
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