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光刻胶是一大类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料,是转移紫外-或电子束曝照图案的媒介。光刻胶的英文名为resist,又翻译为抗蚀剂、光阻等。因为光刻胶的作用就是作为抗刻蚀层保护衬底表面。光刻胶只是一种形象的说法,因为光刻胶从外观上呈现为胶状液体。
光刻胶通常是以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。当紫外光或电子束的照射时,光刻胶材料本身的特性会发生改变,经过显影液显-,nr29 25000p光刻胶,-的负性光刻胶或未-的正性光刻胶将会留在衬底表面,nr29 25000p光刻胶报价,这样就将设计的微纳结构转移到了光刻胶上,而后续的刻蚀、沉积等工艺,就可进一步将此图案转移到光刻胶下面的衬底上,后再使用除胶剂将光刻胶除去就可以了。
光刻胶按其形成图形的极性可以分为:正性光刻胶和负性光刻胶。正胶指的是聚合物的长链分子因光照而截断成-分子;负胶指的是聚合物的-分子因光照而交链长链分子。 -分子聚合物可以被显影液溶解掉,因此正胶的-部分被去掉,nr29 25000p光刻胶公司,而负胶的-部分被保留。
光刻胶一般由4部分组成:树脂型聚合物resin/polymer,溶剂solvent,光活性物质photoactive compound,pac,添加剂additive。 其中,树脂型聚合物是光刻胶的主体,它使光刻胶具有耐刻蚀性能;溶剂使光刻胶处于液体状态,便于涂覆;光活性物质是控制光刻胶对某一特定波长光/电子束/离子束/x射线等感光,并发生相应的化学反应;添加剂是用以改变光刻胶的某些特性,如控制胶的光吸收率/溶解度等。
注意事项:
若腐蚀液为碱性,则不宜用正性光刻胶;
看光刻机型式,若是投影方式,用常规负胶时氮气环境可能会有些问题
负性胶价格成本低,正性胶较贵;
工艺方面:负性胶能-地获得单根线,而正性胶可获得孤立的洞和槽;
健康方面:负性胶为有机溶液处理,不利于环境;正性胶属于水溶液,nr29 25000p光刻胶厂家,对健康、环境无害。
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正性光刻胶和负性光刻胶
光刻胶可依据不同的产品标准进行分类。按照化学反应和显影的原理,光刻胶可分为正性光刻胶和负性光刻胶。如果显影时未-部分溶解于显影液,形成的图形与掩膜版相反,称为负性光刻胶;如果显影时-部分溶解于显影液,形成的图形与掩膜版相同,称为正性光刻胶。
在实际运用过程中,由于负性光刻胶在显影时容易发生变形和膨胀的情况,一般情况下分辨率只能达到 2 微米,因此正性光刻胶的应用更为广泛。
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