螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。
螺杆式真空泵的应用
螺杆式真空泵不仅适应性广泛,可以在---条件下抽气,芜湖无油节能真空泵,同时可以达到较高真空度0.1~1pa。因此,随着半导体、石化行业的快速发展,螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、化工领域,如半导体行业的气相沉积、蚀刻,化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。
螺杆真空泵因为具有清洁无油、抽速大、振荡小、噪声低等长处,已成为当时大型空间模空体系的产品。别的,为了进步真空机组的抽速和---真空并相应的减小螺杆泵的尺寸,一般都是选用一台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的二级机组或二台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的三级机组。为避免颗粒杂质进入泵内,在真空机组进口均装备进口过滤器,其精度为50 μm。无油节能真空泵
螺杆真空泵是一种---、、运行性能稳定、---的绿色产品。该产品的自主---性、产品、价格都具有很强的市场竞争力,无油节能真空泵,可大范围替代进口产品,市场需求量大,将在化工、冶金、电子、石油、航空航天、工具、造纸、包装、食品、、器械、以及信息工程、生物工程、微电子等100多个领域取代目前技术含量较低的真空设备。
螺杆真空泵在空间模拟方面的应用
由于空间模拟装置其被抽容器的容积从几千立方米到几万立方米,真空度变化从几万pa 到几个pa,而且被抽气体中含有大量的水蒸气或部分氮氧化物,所以这种真空系统首先遇到问题就是预抽真空问题,如果选用传统的滑阀泵作前级泵则存在下列问题:
首先是滑阀泵在高入口压力下长时间运行,由于气流携带作用,其喷油现象十分---,一是浪费大量昂贵的油,二是污染环境;
由于被抽气体中含有大量的水蒸气或氮氧化物,这些气体一旦进入泵内会使真空泵油迅速乳化变质,无油节能真空泵企业,油的密封性破坏,无油节能真空泵供应商,导致真空性能下降,甚至使泵毁坏;
需要配置泵的数量多,而且滑阀泵的振动、噪声也大;
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