化学气相沉淀化学气相沉淀 (cvd) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用---之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。
干泵选择
cvd 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：
粉末
许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能---粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以---泵在应力下保持 旋转。
冷凝
半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。
腐蚀
有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，爱德华真空泵rv12，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要---可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 cvd 制程，需要在温度设上 达到平衡，以---避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。
沦分子泵是一套速、超真空的装置，它的旋转速度---90000rpm1500转／秒，形成的超真空度可以低到5x10-10pa以下十亿分之二个---压，并且它设计紧凑，体积小，爱德华真空泵，重量轻。主要有两个系列：stp和ext，主要区别是ext系列的回转轴承是陶瓷的，而stp系列的回转轴承是用磁性材料制成的。
五、罗兹泵
edwards在早推出高抽速的罗茨泵，edwards爱德华真空泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，---真空10-3mbar。在低真空中有---的抽气率，常串油式或干式泵使用
六、真空计
爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设---的微处理器控制；
涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*r，-2* a * r.-r (5.1)
5.1.2抽气速率
理论抽气速率sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一
个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵
为双侧涡旋，那么sth可表达为下式:
s1，=2仇、---ol卜(5.2)
其中vii，爱德华真空泵维修， vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压
缩腔的容积。、
实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄
漏，其实际抽速s要低于理论抽速sth，设p:为吸入口压力，p:为排气口压力，
q。为总泄漏，则〔10)
s*pl=sw*p，司t
则实际抽速为
g
j=j*一下了
r，
(5.3)
5.1.3---压力
涡旋式无油真空泵的---压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达
到的稳定时的低压力，用p。表示。此时泵的实际抽速s=o，令式((5.3)中的实际
抽速s=o，即可得---压力〔10)
(5.4)
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