清洗液的物理化学性质对清洗效果的影响
清洗液的静压力大时，不容易产生空化，晶圆清洗台，所以在密闭加压容器中进行超声清洗或处理时效果较差
清洗剂的选择要从两个方面来考虑：一方面要从污物的性质来选择化学作用效果好的清洗剂；另一方面要选择表面张力、蒸气压及粘度合适的清洗剂，因为这些特性与超声空化强弱有关。液体的表面张力大则不容易产生空化，但是当声强超过空化阈值时，空化泡崩溃释放的能量也大，有利于清洗；高蒸气压的液体会降低空化强度，而液体的粘滞度大也不容易产生空化，徐州晶圆，因此蒸气压高和粘度大的洁洗剂都不利于超声清洗。
此外，清洗液的温度和静压力都对清洗效果有影响，清洗液温度升高时空化核增加，对空化的产生有利，但是温度过高，气泡中的蒸气压增大，空化强度会降低，晶圆腐蚀设备，所以温度的选择要同时考虑对空化强度的影响，也耍考虑清洗液的化学清洗作用每一种液体都有一空化活跃的温度，水较适宜的温度是60-80℃，此时空化活跃。
清洗机
机械零部件的污垢主要有润滑脂、防锈油脂及其他混合物组成的油泥，晶圆清洗设备，可以采用碱性清洗液清洗、电化学清洗，也可采用超声波清洗机清洗，超声波清洗机清洗是一个清洗的专门类别，属工业清洗。采用碱性清洗液清洗 碱性清洗液化学清洗的工艺流程为：装挂－碱液清洗－水洗50-90℃热水－干燥热压缩空气吹干，要求较高的零部件，经压缩空气吹干后，还需要在105-1150c的电热鼓风干燥箱中烘烤10分钟. 采用碱性清洗液的电化学清洗 超声波清洗应注意下列点：不宜清洗机件表面较厚的油污，油污较厚时需采用高压喷淋的方法进行预清洗，对于弹簧件、薄壁钢件，强度钢件等不能在阴极上清洗为避免材料渗氢，产生氢脆现象；对铜、锌、镍等材料制成的机件不能在阳极上清洗避免材料表面氧化；定期进行电解液的定量分析，按分析结果补充化学试剂。
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