喷淋清洗机
是一种利用水压冲洗物体表面的工业清洗设备。它将工件表面污垢剥离，冲走，达到清洗物体表面的目的。该机具有工位多，功能全，结构合理，操作方便，清洗效果好，对于大批量工件的清洗，苏州晶圆，-劳动环境，提高清洗和吹干，晶圆清洗台，具有重要的意义。该清洗机为继电器控制全自动形式，晶圆清洗机，除人工装卸工件外，其它工艺工序过程全部自动完成。
水基清洗机原理：
清洗机由于应用场合和洗涤对象的不同，以及污垢附着的基体的性质差异很大，清洗机理也是复杂的。可简单地将清洗分为以三个过程：
●向被洗物内浸透洗净溶液的过程一浸透作用；
●污垢从固体表面分离的过程—扩张作用； 污垢进行分散保护的过程的过程—分散、浮化、可溶化作用；
●污垢从被洗物除去的过程。
在利用水基清洗机进行清洗时，洗涤对象的表面活性物质的表面性能发生了相当大的变化，如果将1cm3立方体分割成1021个立方体的话，可以计算出它的表面积总和将为6000m2，这时此物质的表面及界面的特性就上升为主要的了，其自由能，表面张力等均发生了质的变化。表面张力为一定值时的浓度。在此浓度下，水基清洗机里的水溶液的许多物理化学性质会发生-的变化，使用时应-注意。
nano-master的技术也适用于清洗背部以及带保护膜掩模版前面的对准标记，降低这些掩模版的不-去除和重做保护膜的几率。它也可以用于去除薄膜胶黏剂的黏附性并准备表面以便再次覆膜。此外，晶圆清洗设备，带薄膜掩模版的全部正面的兆声清洗以及旋转甩干可以做到无损并且对薄膜无渗漏。
化学清洗槽也叫酸槽/化学槽，主要有hf，h2so4，h2o2，hcl等酸碱液体按一定比例配置，目的是为了去除杂质，去离子，去原子，后还有di清洗。ipa是，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。
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