半导体清洗机湿式清洗制程中,主要应用项目包含晶圆清洗与湿式蚀刻两项。至于脏污的来源,显影清洗,不外乎设备本身材料产生、现场作业员或制程-人体自身与动作的影响、化学材料或制程药剂残留或不纯度的发生,显影,以及制程反应产生物的结果,尤其是制程反应产生物一项,更成为制程污染主要来源。
苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、pp/pvc通风柜/厨、cds化学品集中供液系统解决方案.
rca清洗附加兆声能量后,可减少化学品及di 水的消耗量,缩短晶片在清洗液中的浸蚀时间,减轻湿法清洗的各向同性对积体电路特征的影响,增加清洗液使用寿命。
苏州晶淼半导体设备有限公司
可根据客户的工艺需求和工作环境的具体要求,显影清洗机,对设备进行人性化、个性化设计,-限度的将客户的想法转化为实际应用。能完全满足规模化生产和研发需求。 天道酬勤,商道酬信!-的产品是我们的-,超客户预期是我们的自我需求,真诚守信是我们的原则,我们的目标是提升中国湿制程设备制造水平和服务!
(1) 设备运行时,腔体内必须放卡塞,否则由于平衡破坏造成设备损坏或精度降低;
(2)晶片必须均匀放置在卡塞内,尽量-首尾重力平衡;
(3)卡塞放置在腔体内时,片子正面应朝向观察窗一侧;
(4)设备运行中不得试图打开密封门盖,显影设备,否则会造-体伤害或机器损坏。
苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、pp/pvc通风柜/厨、cds化学品集中供液系统解决方案。我们的每台设备除标准化制作外,还可根据客户的工艺需求和工作环境的具体要求,对设备进行人性化、个性化设计,-限度的将客户的想法转化为实际应用。能完全满足规模化生产和研发需求。
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