11为何机台必须使用冷却水时，必须控制水质纯净?
答：防止结垢，或绝缘
12为何制程(process)气体管路必须加热 from gas box to chamber?
答：防止制程气体冷凝为液体，肇庆卷发棒电镀，影响制程.
13何谓pm ?机台为何要定期pm?
答：pmpreventive maintenance是预防保养. 按周期对机台相应的parts(备品)采取相应的维护或更换措施，为保持机台性能的稳定，防止制程良率下降，延长机台及parts寿命.
(1) 依时程而分，可分为月保养，季保养，年保养.
(2) 依wafer 数量而分，是为数量保养.
14为何-做pm时，必须先冷却加热器(heater) 至(room temp.)适当的温度?
答：为了-安全及机台安全
15为何-做pm时，chamber必须bake out?
答：为了排气，防止不纯气体进入film 中，影响制程
16pvd与w-cvd在ic制造中扮演什幺角色?
答：铝与钨为金属层，连通device 与封装的导线，在二者之间形成通路，电流得以畅通无阻.(attached drawing)
离子镀膜产品的品质-。真空蒸发镀膜和磁控溅射镀膜都主要利用中性粒子成膜，在膜层粒子到达基片时的速度较低，因而会产生诸如沉积速率低、膜层附着力差、膜层不致密等问题，而离子镀可以-解决上述问题。
镀膜生产过程及镀制的产品对环境友好。镀膜工艺流程简单，不需要消耗铜、镍、镉等gui金属，不使用强酸、强碱和qin化物、铬酐等有毒有害化学品，污染物(-是重金属、qin化物)排放少;水耗较低，只需少量循环冷却用水。同时，还可提高镀制产品的，增加镀膜品种，实现节能、减排、降耗、增效的目的。
以年镀30万只17英寸铝合金汽车轮毂生产线为例，采用绿色镀膜技术可节水90万吨，节电760万千瓦时，减少污水排放110万吨，减少铜、镍等重金属消耗近200吨，价值3000万元，镀膜成本只是电镀的1/3。
|
登录后台
