气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa,控制器公司, 若压差小于0.1 mpa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa,控制器, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用mfc时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应-mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。
流量控制器mfc是用来控制气体流量的,控制器厂家,流量计mfm是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用mfm。 当然mfc还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为mfc设定一个大流量,mfc会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,压力比较小mfc就不能测出来了,因为mfc压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的mfm。
(1) 流量的测量和-不因温度或负载的变化而产生误差。 针对大部分流量控制系统来讲,控制器,难以防止系统的工作压力起伏及自然环境和物质的温度转变。针对一般的流量计,工作压力及温度的起伏将造成很大的偏差;针对流量计 / 流量控制器,则一般可以忽略。
(2) 测量-的自动化技术 流量计 / 流量控制器可以将流量测量值以规范电子信号輸出。那样非常容易实现对流量的数据显示﹑积累流量﹑数据信息自动保存﹑电脑管理等。对流量控制器来讲,还能够完成流量的自动控制系统。通常, 模拟的mfc/mfm数据信号为0~ 5v或4~20ma, 数字式mfc/mfm还装有rs232或rs485数据串行通信通信口, 能十分便捷地与电脑联接, 开展自动控制系统。
(3) 定量-流量 流量控制器可以控制汽体的给定量,这对许多加工工艺全过程的流量-﹑针对不一样汽体的控制算法等尤其有效。
(4) 应用领域宽 有很宽的压力范畴,可以适用真空环境和高压环境; 可以适用多种气体包含一些腐蚀汽体,如hcl
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