沈阳市鹏程真空技术性责任有限公司——电阻器热蒸发镀膜供货商,我们为您提供下列信息内容。
选用3~8组蒸发源可适配金属材料、有机化合物蒸发。广泛运用于-院校材料、物理学、有机化学、电子器件、电力能源等有关课程及其科研单位制取-作用塑料薄膜、蒸镀电级等,非常合适opv/钙钛矿/无机物太阳能薄膜充电电池、半导体材料、有机化学el、oled显示信息科学研究与开发设计行业。
1.前开关门真空内腔,便捷拿取基片、拆换蒸发舟、加上蒸发材料及其真空室的平时维护保养;
2.1200l/s分子泵做为主抽泵,真空限达到5×10-5pa;
另可选择進口磁悬浮分子泵或是低温泵做为主抽泵,真空限达到 3×10-6pa;
3. 组水冷器蒸发电级,可长期平稳工作中,适配金属材料材料与有机化学材料的蒸发源设计方案,
源间有避免交叉式环境污染挡板;
4. 真空蒸发开关电源,恒流电源/恒输出功率---。可保持一键启动和终止的自动控制系统作用;
5.较大120mm基片/15~25mm ito/fto夹层玻璃25片,可订制一体化高精密刻蚀掩膜板;
6.基片台自转,转速比0~25rpm持续可调式;
7. 衬底可挑选加温或水冷散热,源基距较大350mm;
8. 选用進口膜厚---仪在线监控和---蒸发速度、膜厚;
9. 可堆积金属材料au, ag, al, ca, cu, mg, fe, cr, ni等、非金属材料、化学物质moo3,南京钙钛矿镀膜设备, lif等
及有机化合物材料, 可扩展堆积单面膜、双层膜及混和膜;
技术指标:
1. 真空室的---真空度达5*10-5pa,漏率为关机12小时≤5pa
2. 真空腔内配有集约样品台一套,配有大挡板和16套小挡板,手动
控制,开关方便快捷,每个小挡板挡两块30*30mm样片
3. 蒸发源共14套,其中10套有机蒸发源,4套金属蒸发源。控温
精度±1℃,可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能
4. 金属蒸发源配4台一带一1000w可控硅调压电源,通过铜电极
连接,两端可夹钨绞丝或者钽舟,钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒
材料,钽舟可以蒸镀粉末状材料,蒸发源采用陶瓷全密封,避免交
叉污染
5. 有机蒸发源配10台一带一温控电源,有机源温度为室温-500度,
可以根据材料及用户需求自行调节
6. 样品台具有旋转、升降功能,可在线更换掩膜板一次,可同时装
载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板,钙钛矿镀膜设备,
并且通过plc控制步进电机对每个小挡板做16个定位,使机械手
推拉小挡板,样品与蒸发源之间的间距为200-300mm
以上内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,武汉钙钛矿镀膜设备,希望对同行业的朋友有所帮助!
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售电阻热蒸发镀膜产品,我们公司坚持用户为-,想用户之所想,急用户之所急,以诚为本,讲求信誉,天津钙钛矿镀膜设备,以产品求发展,以求生存,我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
工作真空6*10 -4 帕
恢复工作真空时间:连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱,充干燥氮气≤30分钟
本套设备配有8个有机源及2个金属源
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选
金属蒸发源配有1000w电源
有机蒸发源配有可控温电源,控温精度±1℃
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