激光分子束外延设备-激光分子束外延设备-沈阳鹏程

电子束镀膜机的特点/用途介绍

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产品特点/用途：

?设备一体化设计，占地面积小，性能稳定，高，使用维护成本低；

?适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；

?适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。

电子束镀膜的溅射方式

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溅射方式是用高速正离子轰击靶材表面，通过动能传输，令靶材的分子原子有足够的能量从靶材表面逸出，在产品表面凝聚形成薄膜。

用溅射的方法制镀的薄膜附着性强，薄膜的纯度高，可以同时溅射多种不同成分的材料，但是对靶材的要求高，不能象电子一样节约资源。

目前运用较多的有磁控溅射，激光分子束外延设备厂家，磁控溅射是指平行于阴极表面施加强电场，将电子约束在阴极靶材表面附近，提高电离效率。它是操作比较简单的一种，所以运用非常广。