石英晶体谐振器制作
石英晶体的谐振频率与其厚度有关。用机械研磨和抛光致薄的晶体，可制作低频器件，但频率超过20mhz时， 上述工艺已不适用因为极薄的晶片已不能承受机械应力。采用离子束抛光，可以不受此---。石英晶体谐振器的金属引线要求重量轻、低电阻，轰击离子束刻蚀机多少钱，通常用铝沉积在晶体表面沟槽中，轰击离子束刻蚀机厂家，以高电导率铝作引线电极。用离子束溅射加工晶体_上的沟槽是有效的方法。
离子束刻蚀以离子束为刻蚀手段达到刻蚀目的的技术，其分辨率---于粒子进入基底以及离子能量耗尽过程的路径范围。离子束较小直径约10nm，离子束刻蚀的结构较小可能不会小于10nm。目前-离子束刻蚀的束斑可达100nm以下，轰击离子束刻蚀机，较以较快的直写速度进行小于50nm的刻蚀，故而-离子束刻蚀是纳米加工的一种理想方法。此外-离子束技术的另一优点是在计算机控制下的无掩膜注入，甚至无显影刻蚀，直接制造各种纳米器件结构。但是，在离子束加工过程中，损伤问题比较-，且离子束加工精度还不容易控制，控制精度也不够高。
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反应离子腐蚀技术是一种各向---很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，利用了离子-化学反应来实现各向---刻蚀，即是利用离子能量来使被刻蚀层的表面形成容易刻蚀的损伤层和促进化学反应，同时离子还可清除表面生成物以露出清洁的刻蚀表面的作用。但是该刻蚀技术不能获得较高的选择比，对表面的损伤大，有污染，难以形成更精细的图形。
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