影响因素
硬度-抛光垫的硬度决定保持面形精度的能力；
压缩比-压缩比反应抛光垫的抗变形能力；
涵养量-抛光垫的涵养量是单位体积的抛光垫存储抛光液的；
粗糙度-表面粗糙度是抛光垫表面的凸凹不平程度，；
密度-密度是抛光垫材料的致密程度；抛光皮
抛光液中常常添加一些化学试剂用于调节抛光液的ph值，惠州抛光布，以-抛光过程化学反应的进行，化学机械抛光抛光液一般分 为酸性和碱性两大类。
酸性抛光液早是由化学腐蚀液改进而来的，具有溶解性强、氧化剂选择范围大抛光等优点，常用于金属材料的抛光。酸性抛光液的ph值-般
为4左右，可通过加入有机酸作为ph调节剂。其缺点是腐蚀性强，对抛光设备要求高， 选择性较低，但是可加入抗蚀剂-并来提高其选择性，抛光布的使用，不过
bta的引入会影响抛光液的稳定性。
|
登录后台
