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产品描述
上海伯东德国普发 pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 hipace 300-800m, ath 500 m: 抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵. hipace m和ath 500 m拥有5轴磁轴承. 动平衡装置会进行自动校准, pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移. 低能耗和极低的维护成本---了其---的---.
磁悬浮涡轮分子泵 hipace 300-800m,ath 500 m 产品优点:
1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装
2.集成控制器
3.清洁无油
4.高气体流量
5.低震动及低磁场干扰
6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿
7.转速范围大
磁悬浮涡轮分子泵 hipace 300-800m,ath 500 m 技术参数:
分子泵型号
分子泵连接尺寸 dn
抽速 l/s
压缩比
---启动压强hpa
---压力
全转速气体流量hpa l/s
启动时间
重量
进气口
排气口
氮气
n2
---气he
氢气 h2
氮气
n2
氮气n2
hpa
氮气n2
min
kg
hipace 300 m
100
16
255
215
170
> 1x1011
20
< 1x10–7
28
2
13.1 – 17.2
ath 500 m
ath 500 mt
160
25
550
390
190
> 2x107
2.6
< 1x10–8
67
2
17 – 18
hipace 700 m
160
25
685
600
480
> 1x101
8
< 1x10–7
13
4
15.7 – 20.8
hipace 800 m
200
25
790
625
500
> 1x101
8
< 1x10–7
13
4
17.1 – 21.5
pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 hipace 300-800m
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