化学气相沉淀化学气相沉淀 (cvd) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用---之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。
干泵选择
cvd 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：
粉末
许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能---粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，爱德华螺杆泵维修ih1800，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，园洲罗茨泵维修，以---泵在应力下保持 旋转。
冷凝
半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。
腐蚀
有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要---可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 cvd 制程，需要在温度设上 达到平衡，以---避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。
使用真空泵机组时需要注意什么?
1、在蒸馏系统和真空泵机组之间，必须装有吸收装置。
2、蒸馏前必须用水泵抽去系统中溶剂的蒸气。
3、如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，爱德华螺杆泵维修ih1000，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。
4、真空泵机组腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
5、减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
真空泵转子与静止件轴向摩擦的振动机理
理论研究和试验表明，转子与精致件发生轴向摩擦时，真空泵转子的振动特征几乎与正常状况一致，没有明显的异常特征，所以诊断轴向摩擦时，不能用波形、轴心轨迹和频谱方法去识别，必须寻求新的铭感参数。
真空泵轴向干摩擦力与旋转速度有关，由于轴向干摩擦的作用使基频影响相对下降，同时有高频成分出现，所以轴向干摩擦具有阻尼的特性。轴向干摩擦力的打小正比于转子与静止间的干摩擦因数和轴向力。轴向干摩擦阻尼远大于径向摩擦
阻尼，由于轴向干摩擦会引起系统阻尼的---增加，因此系统阻尼的变化可作为轴向摩擦的识别特征。
另外，摩擦会造成成功耗上升和效率下降，同时局部会有温升，因此工艺参数对转子与静止件轴向摩擦的故障诊断非常重要
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